MPO涂層測厚儀校準需要有下面幾項東西：底材（形狀和底材物料要與待測部件一致）和一片標準片(儀器隨機的 75 µm 左右標準片)。 說明：MPO涂層測厚儀校準將刪除內存中的所有讀數(shù)。
MPO涂層測厚儀校準儀器（前提：儀器必須打開）
1. 按 [CAL]鍵。顯示 "Base" (即 “未鍍過的底材”)
2. 在底材上測量五次左右.每次測量后，會顯示當前的讀數(shù)。
3. 按 [OK]鍵.顯示 0.00 和 STD1 (即校準標準片 # 1).
4. 把校準標準片放在底材上，并測量 5 次左右。每次測量后，屏幕上會顯示當前讀數(shù)。
5. 用 [上] 或 [下]鍵調整第 4 步的后一個數(shù)值至標準片標稱值， 如“75 µm”。 標準片的標稱值注明在標準片上
6. 按 [OK]鍵。(完成校準程序. 儀器返回測量狀態(tài).)
